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以碳化硅MOSFET工艺为例，整线关键工艺设备共22种。1.碳化硅晶体生长及加工关键设备主要包括:碳化硅粉料合成设备用于制备生长碳化硅单晶所需的碳化
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北方华创还指出，公司的光伏单晶炉产能可以满足客户需求，近年来公司单晶炉产品累计向客户销售近5000台。但由于硅原料价格持续高涨，导致下游客户晶棒制备扩产进度放缓，年一季度公司单晶炉产品出货相较往年有所减少；碳化硅长晶设备订单饱满
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产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”.集微网报道，年以来，受全球消费电子市场整体放缓以及新冠疫情反复的影响，半导体产业在经历了持续良久的高景气后开启了去库存周期。.值得一提的是，虽然半导体产业已经步入下行周期，但仍有部分
碳化硅（SiC）行业分析报告：碳化硅(SiC)是一种无机物，其是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成。目前已发现的SiC同质异型晶体结构有200多种，其中六方结构的4H型SiC(4HSiC)具有高临界
合肥露笑科技投资100亿元建设碳化硅设备制造、长晶生产、衬底加工、外延制作等，预计其第二期、第三期将推进8英寸的量产。东莞天域也在筹备8
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设备导入环节面临设备选型，现有方案适合用哪些设备生产，需要通过一台一台设备来试产。现在全球主要半导体企业，都在努力提升碳化硅的产能，Fab厂抢购半导体设备已是业内常态，有没有抢购到适配的设备，是能否增加SiC器件产能的关键因素。
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